반도체 재료·장비 업계가 초미세 반도체 개발을 위한 심층 논의를 나눴다. 중요성이 커지는 재료·장비에 대해 연구 결과와 전망을 함께 고민했다.

국제반도체재료장비협회(세미)는 16일 코엑스에서 'SMC 코리아 2019'를 개최했다.

세미코리아 조현대 대표는 인사말에서 "SMC 코리아는 전세계에서 유일한 반도체 재료 관련 컨퍼런스"라며 "관련 회사 발전에 기여하고 한국 재료 산업을 글로벌 수준으로 끌어올리는데 도움을 줄 것"이라고 말했다.

컨퍼런스는 반도체 산업 전반을 소개하는 기조연설로 시작됐다. 어플라이드 머티리얼즈와 듀퐁, 아이멕 등 반도체 재료 산업을 대표하는 업체들이 맡았다.

기조연설자들은 앞으로 반도체 산업이 계속 성장할 것이라는데 입을 모았다. 스마트폰이 정체되는 반면 IoT 가전을 비롯해 여러 IT 산업이 크게 성장하고 있어서다.

그러나 핀펫 등 방법이 한계에 이르면서 미세 공정 진입 난이도가 크게 어려워졌다고 설명했다. 이에 따라 재료와 장비 중요성이 더 높아졌다고 분석했다.

첫번째 세션은 차세대 재료에 대한 연구를 주제로 진행됐다. 아이멕과 JSR, SK실트론, KLA, 버섬머티리얼즈가 강연자로 나섰다.

강연자들은 각각 자사의 연구 과정과 미세 공정을 위한 노력을 소개했다. 다양한 물질을 연구하고 더 정밀한 방법을 찾아내고 있다는 내용이다.

SK실트론은 반도체 시장 업계 1위를 향한 포부를 숨기지 않았다. 이미 전세계 반도체 업체에 300㎜ 웨이퍼를 공급하고 있다며, 표면뿐 아니라 측면을 어떻게 처리하는지도 심도 있게 고민하고 있다고 강조했다.

이어서 두번째 세션인 품질관리에서는 인테그리스와 팔, PMS가 연설을 맡았다. 반도체 품질 관리가 성능에 얼마나 중요한지를 설명하고 방법과 오염 처리 등에 대해 정보를 나눴다.

마지막으로 세번째 세션에서는 반도체 공정 안정화와 미래 소자 개발을 위한 전자재료 트렌드 및 관리시스템이 논의됐다. 삼성전자와 SK하이닉스가 미래 반도체 재료 품질과 관리에 대한 전망을 공유했다.