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LG디스플레이, 기존 장비로 초미세 패턴 구현하는 기술로 '네이처' 장식…폼팩터 다변화도 기대

연세대 심우영 교수. /LG디스플레이



LG디스플레이가 초미세 패턴을 쉽게 구현할 수 있는 기술로 전세계 학계에 화제를 일으켰다.

LG디스플레이는 최근 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 연세대학교 심우영 교수 연구팀이 수행한 연구 결과를 게재했다고 13일 밝혔다.

네이처에 소개된 연구는 LG디스플레이가 산학 협력 차원에서 심 교수 연구팀에 과제를 지원해 진행됐다. 3년여간 25명 연구원이 참여했으며, 한국연구재단 미래소재디스커버리 연구사업, 선도연구센터 연구사업 및 기초과학연구원 지원도 함께 이뤄졌다.

구체적으로는 기존 포토마스크로는 불가능했던 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 기술을 다뤘다. 기존 포토마스크를 유연하고 투명하게 만들어, 기존 디스플레이 노광장비로도 종전대비 100분의 1 크기 초미세 패턴을 구현할 수 있게 된다.

LG디스플레이는 이 기술을 통해 고해상도 전자회로를 구현할 수 있게 됐을 뿐 아니라, 휘어진 기판에도 적용할 수 있어서 다양한 폼팩터 디스플레이를 만들 수 있을 것이라고 설명했다.

심우영 교수는 "이 연구는 빛의 회절한계를 극복할 수 있는 포토리소그래피 공정을 개발했다는 점에 의의가 있으며, 평면뿐만 아니라 곡면 기판에도 적용이 가능해 향후 다양한 형태의 소자 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대된다"고 연구의 의의를 설명했다.

논문 공동 저자인 LG디스플레이 장기석 박사는 "이번에 개발된 포토리소그래피 기술은 미래 디스플레이 기술 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드 기술"이라고 밝혔다.

한편 LG디스플레이는 지난 2015년부터 디스플레이 산업의 발전을 위한 산학 프로그램인 'LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램'을 운영해오고 있다. 기업과 대학이 함께 디스플레이 기반 기술 및 제품들에 대한 아이디어를 모으고 산업화 관점에서 실현될 수 있도록 기획하고 연구·검증하는 프로그램이다.

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