반도체 업계가 미중 무역분쟁과 일본의 추가 수출규제 우려로 위축되는 가운데, 소재·부품·장비 업계는 기술력을 앞세워 경쟁력 강화를 지속하고 있다.

19일 업계에 따르면 아이에스시는 실리콘 러버 소켓 원천기술을 통해 반도체 후공정인 테스트 소켓 분야에서 실적 상승을 이어가고 있다.

반도체 테스트 소켓은 완성된 반도체가 출하되기 전 반도체의 불량 여부를 판단하는데 사용되는 소모성 부품으로, 아이에스시는 2001년 국내 최초로 종전 '포고 핀' 단점을 개선한 실리콘 러버 소켓을 개발해냈다.

아이에스시는 일찌감치 특허 중요성을 인식, 2017년 중소기업 지식재산 경영인증을 취득했다. 그 전인 2016년에는 특허경영대상 기업부문 산업부장관상을 수상하기도 했다. 미국과 일본, 베트남과 멕시코 등 해외 주요 7개국에서 특허권을 선점하기도 했다.

코오롱인더스트리도 일본 수출규제에 포함됐던 불화폴리이미드를 자체 생산 중이다. 불화폴리이미드는 폴더블 디스플레이 소재로 사용되는 소재로, 코오롱인더스트리는 지난해 상반기부터 양산을 시작했다.

SK그룹은 전사적으로 '반도체 독립'에 박차를 가하고 있다. SK머티리얼즈는 순도 99.999%의 초고순도 불화수소 가스를 국산화에 성공했다. 불화수소 가스는 지난해 일본이 수출을 규제한 대표적인 품목으로, 반도체 제조에서 세정 과정에 쓰이는 물질이다.

종전까지는 해외 의존도가 100%에 달했지만, SK머티리얼즈는 지난해말 처음 시제품 개발에 성공하고 경북 영주 공장에 15t(톤) 규모 생산 시설을 건설하는 등 국산화에 속도를 냈다. 2023년까지 국산화율을 70%로 끌어올리겠다는 포부다.

아울러 SK머티리얼즈는 포토레지스트인 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발도 진행 중이다. 모두 해외 의존도가 대부분을 차지하는 소재로, SK머티리얼즈는 2021년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만갤런 생산을 목표로 했다.

SK실트론도 최근 차세대 전력 반도체용 'SiC 웨이퍼 사업'을 인수하며, 국내 유일 웨이퍼 업체로 한단계 높은 기술력을 확보할 수 있게 됐다.

그 밖에 반도체 팹 내 운송 장비와 웨이퍼 캐리어 등 여러 분야에서 국산화 노력이 빠르게 진행 중인 상황, 연구·개발과 특허권 확보를 향한 노력도 더 가속화할 전망이다.

아이에스시 관계자는 "예측할 수 없었던 코로나19 이후로 기술 및 생산능력을 갖추기 위한 자국 중심주의가 중요하게 떠오르고 있는 가운데, 아이에스시와 같이 원천기술을 보유하여 이미 기술 독립을 이룬 소부장 중소기업의 역할이 보다 중요해지고 있다"며 "소부장 분야에서 독자적인 기술력을 보유한 기업이 있는 국가는 자체적인 생산 및 조달이 가능해 위기 상황에서도 경쟁력을 가질 수 있다는 점에서 국내 소·부·장 중소기업의 기술 개발 등에 대해 지속적인 관심과 지원이 있어야 한다"고 말했다.

다른 반도체 업계 관계자는 "반도체 산업은 결국 소재와 장비 등 기반 기술로 성장할 수 있다"며 "국산화가 빨리 진행되지 않으면 결국 미국과 중국에 추격당할 수도 있다"고 우려했다.