이재용 삼성전자 부회장이 5개월만에 첫 해외 출장에서 네덜란드 ASML을 찾았다. 첨단 반도체 필수 장비인 극자외선(EUV) 노광장비 문제를 해결하기 위해 직접 나선 것으로 풀이된다.

이 부회장은 13일(현지시간) 네덜란드 아인트호반 ASML 본사를 찾았다. 피터 버닝크 CEO와 마틴 반 덴 브링크 CTO 등 경영진을 만나 협력 강화 방안도 논의했다. 김기남 부회장도 동석했다.

이 부회장과 버닝크 CEO는 EUV 장비 공급계획과 운영 기술 고도화 방안을 비롯해 미래 반도체를 위한 차세대 제조 기술 개발 협력, 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등 의견을 나눴다. 반도체 제조장비 생산 공장을 방문해 생산 현황을 직접 살펴보기도 했다.

삼성전자는 2000년대부터 ASML과 반도체 공정 기술 및 장비 개발에 협력해왔다. 전략적 지분 투자를 통해 파트너십도 강화했다. 최근까지도 EUV에 최적화된 첨단 반도체 소재 개발과 장비 생산성 향상, 성능 개선 등 협력을 이어오고 있다.

이 부회장이 ASML 경영진을 만난 것은 세번째다. 2016년 11월 삼성전자를 방문한 버닝크 CEO 등 경영진과 만나 차세대 반도체 공정 협력 방안을 논의한데 이어, 지난해 2월 프랑스 파리에서도 만나 반도체 산업 의견을 나눈바 있다.

이 부회장이 ASML을 오랜만에 첫 해외 출장지로 선택한 이유는 EUV 장비 수급과 운용 효율 확대 필요성이 더욱 높아졌기 때문으로 추정된다. 최근 시스템 반도체 시장이 대폭 성장하는 가운데, TSMC가 EUV 장비를 대거 주문하는 등 물량 경쟁을 본격화했다는 분석이 이어져왔다. 아울러 삼성전자는 차세대 D램에도 EUV 공정을 적용하면서 의존도를 크게 높인 상태다.