반도체 업계가 미국 반도체 보조금에 이목을 집중하고 있다. 막대한 지원금을 받아 생산성을 대폭 확대할 기회지만, 예상보다 까다로운 조건에 선뜻 나서기는 쉽지 않은 분위기다.

3월 1일 업계에 따르면 미국 상무부는 지난달 28일(현지시간) '칩스 포 아메리카' 신청 절차를 마련하고 심사 기준을 공개했다.

'칩스 포 아메리카' 는 미국 정부가 지난해 8월 새로 제정한 반도체 지원법에 따라 보조금을 지원하는 내용이다. 2030년까지 미국에 2개 이상 비메모리 반도체 클러스터와 함께 여러 개의 첨단 패키징 시설과 최첨단 D램 대량 생산시설 확충을 목표로 한다.

보조금 규모는 총 390억달러(한화 약 51조원)에 달한다. 첨단 반도체 공장은 3월 31일, 후공정 시설은 6월 26일까지 신청을 받을 예정이다. 반도체 자재와 장비와 연구개발시설 대상 지원금 절차는 각각 늦봄, 가을에 발표할 계획이다.

반도체 업계는 관련 법안 발표 직후부터 지원 신청을 준비해왔다. 인텔과 마이크론 등 현지 업체는 물론, 대만 TSMC와 삼성전자도 현지에 대규모 증설 방침을 확정하고 강력한 동참 의사를 내비쳤다.

다만 보조금 조건이 예상보다는 까다로운 탓에 다소 망설이는 분위기도 감지된다. 지나 러먼도 상무장관은 보조금 신청 직후 '백지수표'를 주지 않겠다고 말했다.

일단 지원 대상인 최첨단 반도체 기준이 비메모리는 5나노, D램은 13나노 이하에 낸드플래시도 200단 이상이다. 말 그대로 최선단 공정을 미국에 만들어야 한다는 얘기다. 삼성전자와 TSMC만이 조건을 충족할 수 있고, SK하이닉스와 마이크론도 아직 개발 중인 공정이다.

지원금 사용 조건도 복잡하다. 자사주 매입이나 배당금 지급 등에 사용하지 못하도록 해 꼭 필요한 자금만 요청하도록 했다. 보조금을 신청하기 위해서는 자세한 재무 계획서도 제출하도록 했다.

수익도 나눠야한다. 1억5000만달러(약 1900억원) 이상 지원 받는 경우 사내 어린이집을 설치하거나 지역 보육 사업자 혹은 직원에 보육료를 지원하는 등 계획을 제출하도록 할 것으로 예상된다. 미국 상무부는 지원한 자금의 75%를 언급하며, 초과 이익을 다시 반도체 생태계 강화에 쓰겠다고 약속했다. 3월 중으로 구체적인 요구 사항을 공개할 예정이다.

특히 지원금을 받으면 중국과 관계 악화가 불가피하다. '가드레일 조항'에 동의를 해야하는데, 중국을 포함한 '우려 대상 국가'에 10년간 반도체 시설을 짓거나 투자하면 안된다. 미국 국방에 필요한 경우 우선적으로 반도체를 공급해야 한다는 조건도 있다. 외교적으로도 미국 편에 서야한다는 얘기다.

이 때문에 반도체 보조금이 TSMC와 현지 기업을 위한 특혜 아니냐는 지적도 나온다. 국내 반도체 업계도 보조금 신청 여부부터 면밀히 검토중으로 알려졌다. 현지에서도 미국 상무부가 지나치게 많은 조건을 추가하면서 당초 목적인 반도체 산업 육성 목적도 흐려지는 것 아니냐는 우려도 보인다.