반도체 만들 때 쓰는 물 '수입 끝낸다'...초순수 플랫폼센터 부지 공모

정부가 반도체 업계의 생명수라 불리는 '초순수' 산업의 기술혁신을 이끌 복합연구시설 건립에 박차를 가하고 있다. 환경부는 '국가 초순수 플랫폼센터'의 부지 선정을 위한 공모를 실시한다고 23일 밝혔다. 6년쯤 후 건립될 이 센터는 초순수 기술개발 및 인력양성 등을 맡게 된다. 공모는 전국 지자체를 대상으로 오는 24일부터 15일간 실시된다. 공모 직후, 전문가 등을 중심으로 입지선정 평가위원회를 구성해 후보지에 대한 평가를 실시한다. 최적 후보지가 선정되면 주민 및 관계 행정기관 등의 의견수렴을 거쳐 '국가 초순수 플랫폼센터'의 최종 입지를 결정하는 수순이다. 초순수는 반도체 제조의 각 공정(웨이퍼 제조, 포토, 식각 등) 과정의 세정에 사용된다. 반도체 품질과 수율(양품 비율)을 좌우하는 핵심 요소 중 하나인 초순수의 생산을 위해서는 물속에 포함된 불순물(이온, 유기물, 미생물, 미립자, 기체 등)의 농도를 극히 낮은 값으로 억제하는 최고난도의 수처리 기술이 필요하다. 현재 선진국 중 일부만이 이 기술을 보유하고 있다. 환경부 관계자는 "우리나라는 현재까지 초순수 생산 기술을 여전히 해외기업에 의존하는 상황"이라며 "국가 주력산업인 반도체 분야에서 초격차를 확보하기 위해서는 초순수 생산기술의 국산화를 통해 국내외 환경에 구애받지 않고 안정적으로 공급할 수 있는 능력을 확보해야 한다"고 말했다. 환경부는 지난 2021년부터 초순수 생산기술 국산화를 위한 연구개발을 추진해 왔다. 반도체 산업의 성장으로 수요 증가가 예상되는 초순수 생산 기술 개발 및 관련 산업의 육성을 위해 ▲초순수 기술개발 ▲수질분석 ▲실증·검증 및 교육시설 등이 집적된 '국가 초순수 플랫폼센터'를 오는 2030년까지 조성한다는 계획이다. 부지 요건으로, 1)건물 바닥면적 1만7664㎡ 확보 가능 2)공업용수 3120㎥ /일일 확보 가능 3)전기용량 1만300kW 및 전력량 492만4155kWh/월 사용 가능 4)폐수배출시설 1종시설 설치 가능 5)2027년 이전 착공 가능 6)첨단 및 소재·부품·장비 특화단지 내 또는 반도체 제조 사업장과 30km 이내 지역 등 6가지를 충족해야 한다. 국가 초순수 플랫폼센터는 ▲소재·부품·장비 시험센터 ▲초순수 실증설비(플랜트) ▲분석센터 ▲폐수재이용 기술센터 ▲연구개발·기업지원·인재양성센터 등을 포함하는 5개 시설로 구성될 예정이다. 환경부 관계자는 "초순수 플랫폼센터를 유치하면 해당 지자체의 경제 활성화 효과도 기대할 수 있을 것"이라며 "환경부는 국가 초순수 경쟁력 강화 및 관련 산업 진흥을 위한 지원을 지속할 계획"이라고 밝혔다./세종=김연세기자 kys@metroseoul.co.kr