일본 수출규제 대응, 반도체 '초순수' 기술 국산화 추진
반도체 초순수 생산공정. 자료=환경부 정부가 일본 수출규제에 대응하기 위해 반도체의 필수원료인 '초순수' 생산 기술 국산화를 본격 추진한다. 환경부와 한국수자원공사, 한국환경산업기술원은 오는 2025년까지 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발' 사업을 진행한다고 14일 밝혔다. 이는 국산 기술을 활용해 반도체 공정 등에서 사용되는 고순도 공업용수를 생산, 공급하는 연구·개발(R&D) 사업으로 총 사업비 480억원이 투입된다. 초순수(Ultra Pure Water)는 수백개의 반도체 생산 단위공정 중 나오는 부산물, 오염물 등을 세정할 때 쓰이는 필수 공업용수다. 초미세회로로 구성된 반도체를 세척해야 하기 때문에 총유기탄소량(TOC)의 농도가 '10억분의 1'(ppb) 이하일 정도로 고순도를 유지해야 한다. 그동안 우리나라는 반도체 사용 용수의 약 50%를 차지하는 초순수 공업용수의 생산·공급을 일본 등 해외업체에 의존해 왔다. 특히, 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품 등의 일본 의존도가 커 일본의 일방적 수출규제 시 타격이 클 것으로 예상된다. 환경부는 올해부터 고순도 공업용수 생산을 위한 핵심부품인 자외선 산화장치(UV)와 용존산소 제거용 탈기막 국산화 기술개발에 나선다. 수자원공사는 오는 2025년까지 하루 2400t의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 실제 반도체 공급업체에 설치, 운영할 계획이다. 초순수 생산 시설 설치가 완료되면 반도체 설계·시공·운영 단계별로 쓰이는 초순수 공정의 최대 60%까지 국산화가 가능해질 전망이다. 현재 수자원공사는 실증플랜트 구축을 위해 수요처와 협의를 진행 중이고, 설치 대상지를 올해 안에 확정할 계획이다. 김동진 환경부 수자원정책관은 "고순도 공업용수는 반도체뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다"며 "이번 기술개발 사업이 차질없이 이행될 경우 해외 기술 의존도를 낮추는 동시에 국내 수처리 업계의 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것"이라고 말했다.
