SKC솔믹스, 반도체 평탄화 핵심 'CMP패드' 증설공장 상업가동

SKC솔믹스 천안공장의 CMP패드 제조 공정 모습. SKC의 반도체 소재·부품 전문 자회사 SKC솔믹스가 반도체 평탄화 공정용 핵심부품 CMP패드 천안공장 상업가동을 개시했다. 기존 안성공장을 포함해 총 연산 18만장의 생산능력을 확보하며 CMP패드 국산화율을 높이게 됐다. SKC솔믹스는 3일 최근 충남 천안 CMP패드 2공장 상업가동을 시작했다고 밝혔다. 지난해 470억원을 투자해 건설한 이곳에선 한 해 12만장의 CMP패드를 생산할 수 있다. SKC 반도체소재사업은 2015년 200억원을 투자해 안성 용월공단에 6만장 규모의 CMP패드 1공장을 준공하며 CMP패드 사업을 시작했다. 이후 증가하는 수요에 대응하기 위해 2공장을 증설하고 생산능력을 기존 세 배로 확대했다. 폴리우레탄 소재로 만드는 CMP패드는 CMP슬러리와 함께 노광, 식각, 증착 공정을 거친 반도체 웨이퍼 표면을 기계적, 화학적 작용으로 연마하는 고부가 제품이다. 반도체의 집적도를 높이는 데 필요한 핵심소재다. 최근 반도체가 미세화하고 공정수가 증가하면서 사용량이 늘고 있다. 반도체시장 조사기관 분석에 따르면 CMP패드 글로벌 시장 규모는 2023년 1조5800억원 수준에 달한다. CMP패드 시장은 미국 회사 2곳이 점유율 90% 이상을 차지하고 있다. 기술 및 특허 장벽이 높아 신규 업체 진입이 쉽지 않다. 소재 물성을 조절하고 웨이퍼 접촉면을 가공하는 고도의 기술력이 필요하다. SKC 반도체소재사업은 2015년 사업에 진출한 이후 과거 폴리우레탄 사업의 기술력과 노하우에 독자적인 R&D 노력을 기울여 국내외 특허 200여 건을 출원하는 등 사업 경쟁력을 확보했다. SKC솔믹스 관계자는 "천안공장은 수입에 의존했던 CMP패드, 블랭크마스크를 생산하며 반도체 소재 국산화를 이끌어가는 거점이 될 것"이라며 "현재 진행하고 있는 해외 글로벌 반도체 제조사 인증평가를 성공적으로 마무리하고, 글로벌 시장에 진출해 반도체 소재 공급망 강화에 기여하겠다"라고 말했다. /김수지기자 sjkim2935@metroseoul.co.kr